晶圓片托架的落座檢測。
通過與導(dǎo)槽并用的方式設(shè)定落座位置。
與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學(xué)藥品性強的氟素樹脂。
獨有的光學(xué)系統(tǒng)幾乎可穩(wěn)定檢測所有晶圓片托架。
采用抗干擾光的變調(diào)光方式歐姆龍智能激光頭指導(dǎo)手冊。
使用環(huán)保導(dǎo)線（無滑石粉）。檢測方式：對射型。
形狀：水平模式。
連接方式：接插件式。
檢測距離：紅光7mE3NC-SH250H
輸出方式：PNP輸出。端子部形狀:端子內(nèi)置型。
保護管直徑D:φ15mm。
元件種類：J（IC）。
保護管長度L：100cm。
品種豐富的高精度溫度傳感器系列。
在以往的M3螺釘對應(yīng)品的基礎(chǔ)上，
追加有助于降低配線工時的棒狀端子對應(yīng)品歐姆龍智能激光頭指導(dǎo)手冊。
溫度傳感器是用作溫控器的熱感應(yīng)部件。
可根據(jù)要測量的溫度、場所、 周圍環(huán)境選擇。
備有種類、形狀、 長度及端子部形狀各異的產(chǎn)品。通用溫控器新增高性能（高分辨率、高速、高精度輸入）型產(chǎn)品。
支持簡易運算、預(yù)防維護。
采用可通過紅外線端口從前面進行通信的新型液晶，
可視角度、對比度得以提升歐姆龍智能激光頭指導(dǎo)手冊。
高分辨率5位顯示/可顯示0.01°C。
高速采樣周期60ms。
全部機型完整多種（能夠熱電偶/Pt/模擬輸入切換），1臺機器支持多種傳感器。
還支持遠程SP。
增加PV/SV狀態(tài)顯示功能，方便查看溫控器的狀態(tài)（自動/手動、RUN/STOP、報警發(fā)生），
可交互顯示PV/SVE3NC-SH250H指導(dǎo)手冊。
通過支持軟件（CX-Thermo Ver.4.0）進行簡易運算功能（AND/OR邏輯和延時）設(shè)定，
能夠執(zhí)行柔性的接點輸出。
增加控制輸出ON/OFF次數(shù)計數(shù)功能，可預(yù)測溫控器內(nèi)部繼電器的故障。
備有位置比例型。小型塑料機殼型。
檢測方式：回歸反射型。
形狀：立式型。
連接方式：接插件式(M12)E3NC-SH250H指導(dǎo)手冊。
檢測距離：紅色光1m。
輸出方式：NPN輸出。
板狀物檢查玻璃晶圓片LCD玻璃基板：適用。
圓筒物檢查可樂瓶透明瓶子：不適用。尺寸：96×96mm。
本體：端子臺型，溫度輸入型。
種類：控制輸出1點型（電源AC100～240V用）E3NC-SH250H指導(dǎo)手冊。
外殼顏色：銀色。
控制輸出：電流輸出。
控制模式：標(biāo)準(zhǔn)或加熱冷卻。
輔助輸出點數(shù)：3點。
加熱器用斷線、SSR故障、加熱器過電流檢測功能/ES1B用電源：--。
事件輸入點數(shù)：--。
傳送輸出：可傳送輸出（使用控制輸出）。
通信：RS-232C。
96mm、48×96mm見方的通用溫控器已升級＆功能/性能提升。
指示精度提升、增加了預(yù)防維護功能，性能進一步提升。
增加PV/SV狀態(tài)顯示功能，方便查看溫溫控器的狀態(tài)
（自動/手動、RUN/STOP、報警發(fā)生），可交互顯示PV/SSV歐姆龍智能激光頭指導(dǎo)手冊E3NC-SH250H手冊。
增加控制輸出ON/OFF次數(shù)計數(shù)功能，可預(yù)防維護溫控器內(nèi)部繼電器。
增加了3段顯示，可同時顯示易于理解的當(dāng)前值/目標(biāo)值/操作量。
增加了PF鍵，分配自動/手動、RUN/STOP等，可實現(xiàn)一鍵操作。